De Dextro-robot van Lam Research brengt 2x precisie naar onderhoud aan halfgeleiders

Lam Research heeft zojuist Dextro geïntroduceerdeen nieuwe collaboratieve robot die speciaal gebouwd is om de uitdagingen van het onderhoud van halfgeleiderproductieapparatuur aan te gaan. Deze mobiele robot is al operationeel in verschillende hightech waferfabrieken over de hele wereld en zorgt voor 50 tot 100 kamers in Lam-gereedschappen die maandelijks onderhoud nodig hebben.

Dextro is ontworpen om enkele van de grootste uitdagingen in het onderhoud van halfgeleiders op te lossen en heeft drie opvallende kenmerken. Ten eerste installeert hij verbruiksartikelen met meer dan twee keer de nauwkeurigheid van handmatig werk, waardoor de etsprestaties aan de randen van de wafer verbeteren. De robot draait ook de bouten van de vacuümafdichting vast volgens een nauwkeurige specificatie, waardoor het gebruikelijke foutenpercentage van 5 procent van mensenhanden wordt geëlimineerd. Dit vermindert het risico op kamertemperatuurschommelingen die de productie zouden kunnen verstoren.

Daarnaast beschikt de Dextro over geautomatiseerde schoonmaak- en polymeerverwijderingstechnologie die zijwandafzettingen in de kamer kan verwijderen zonder de onderste kamer te demonteren. Dit maakt het hele proces ook veiliger, omdat er geen beschermende kleding zoals ademhalingsmaskers nodig zijn, die bij handmatig reinigen wel nodig waren.

Young Ju Kim, VP en hoofd van het Memory Etch Technology Team bij Samsung Electronics, vertelde over het belang van snel en efficiënt onderhoud: "Wanneer productieapparatuur onderhoud nodig heeft, moet het werk snel en efficiënt worden uitgevoerd om langdurige stilstand van het gereedschap en kostenverspilling te voorkomen. Foutloos onderhoud door Dextro helpt bij het verbeteren van de productievariabiliteit en -opbrengst."

Op dit moment werkt Dextro met de Flex G- en H-serie diëlektrische etsgereedschappen van Lam, en het plan is om de compatibiliteit tegen 2025 uit te breiden naar meer apparatuur. Het systeem draait op een mobiele wagen en wordt bestuurd door fabriekstechnici of ingenieurs, waarbij voor elke onderhoudstaak een andere eindeffector wordt gebruikt.